三维表面测量仪的工作原理与技术参数

三维表面测量仪是采用先进的自动变焦技术对物体表面形貌和粗糙度进行测量的仪器。该仪器的工作原理是光学小景深测量与精密垂直扫描相结合。光源所发出的光线经过共轴的分光棱镜和物镜，聚焦照射到样品表面上并发生反射，所反射光学信号经由分光棱镜被信号传感器接收。通过连续的自动的垂直扫描技术以及先进的图像运算处理技术，获得样品完整的表面三维形貌。

主要技术参数

1. 位移范围（X轴、Y轴、Z轴）：100mm×100mm×100mm

2. 大样品高度：100mm ～ 345mm

3. 佳水平分辨率：0.44µm

4. 佳垂直分辨率：10nm

5. 测量速度:170万个测量点/秒

6. 小测量高度：0.01µm

7. 大测量高度：22.5mm

8. 大测量形貌长度：100mm

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