3D共聚焦显微镜的功能与技术指标

3D共聚焦显微镜用来测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。可针对如下需求开展测试：如精密部件：检测对表面磨损，表面粗糙度，表面微结构有要求的零部件，比如发动机汽缸、刀口等。

3D共聚焦显微镜的技术指标：

1）光学相机（3CCD）拍摄分辨率不低于700万像素；

2）垂直方向测量范围：＞1.0mm

3）Z轴行程：50 mm

4）垂直分辨率：＜10nm

5）水平分辨率： 0.2μm

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